დიფუზიის შედუღების აპარატების ტიპები შეიძლება კლასიფიცირდეს მრავალი განზომილებიდან:
კლასიფიკაცია ვაკუუმის ხარისხით:
დაბალი ვაკუუმი (ზემოთ 0 . 1pa): შესაფერისია ზოგიერთი ძირითადი დიფუზიის შედუღების საჭიროებისთვის.
საშუალო ვაკუუმი (0 . 1pa -10^-3} pa): შესაფერისია პროგრამებისთვის, რომლებიც საჭიროებენ ვაკუუმის უფრო მაღალ ხარისხს.
მაღალი ვაკუუმი (<10^-5Pa): Suitable for occasions with extremely high vacuum requirements.
დაბალი წნევის ფარიანი გაზის დიფუზიის შედუღების მანქანა: გამოიყენეთ ფარი გაზი, რომ შეინარჩუნოთ დაბალი ჟანგბადის გარემო სამუშაო სივრცეში.
კლასიფიკაცია სითბოს წყაროს ტიპისა და გათბობის მეთოდით:
ინდუქციის გათბობა: წარმოქმენით სითბო ელექტრომაგნიტური ინდუქციის გამოყენებით .
გამოსხივების გათბობა: გადაიტანეთ სითბო თერმული გამოსხივების მეშვეობით .
საკონტაქტო გათბობა: პირდაპირ დაუკავშირდით სამუშაო ნაწილს გათბობისთვის .
ელექტრონული სხივის გათბობა: გამოიყენეთ ელექტრონული სხივები სამუშაო ნაწილის ზედაპირის დასაბანად, რომ გამოიმუშაოთ სითბო.
ბზინვარების გამონადენის გათბობა: გამოიმუშავეთ სითბო გაზის გამონადენის საშუალებით.
ლაზერული გათბობა: გამოიყენეთ ლაზერული სხივი, რომ დასხივდეს სამუშაო ნაწილის ზედაპირი, რომ გამოიმუშაოთ სითბო .
კლასიფიკაცია ავტომატიზაციის ხარისხით::
Manual: საჭიროა სახელმძღვანელო ოპერაცია .
Semi-Automatic: ნაწილობრივ ავტომატიზირებული ოპერაცია .
სრულად ავტომატური : სრულად ავტომატური ოპერაცია .
კლასიფიკაცია გამოყენებული ელექტრომომარაგების საშუალებით::
Ac: გამოიყენეთ AC ელექტრომომარაგება .
Dc: გამოიყენეთ DC ელექტრომომარაგება .
Classclassification ელექტროდის მასალით:
Tungsten ფოლადის ელექტროდი: გამოიყენეთ ვოლფრამის ფოლადი, როგორც ელექტროდიდის მასალა .
კარბონის ბოჭკოვანი ელექტროდია: გამოიყენეთ ნახშირბადის ბოჭკოვანი, როგორც ელექტროდის მასალა .
